一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822033983.5

申请日：

2018-12-05

公开(公告)号：

CN209522918U

公开(公告)日：

2019-10-22

发明(设计)人：

刘鲁生姜辛黄楠

申请人：

申请人地址：

110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C1644 C23C1652 C23C16458

代理机构：

沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234

代理人：

张志伟

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN109371380A ,2019-02-22

[2]

一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 ;

杨兵 ;

翟超峰 ;

李俊豪 ;

贾心怡 .

中国专利 :CN205954105U ,2017-02-15

[3]

一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置 [P].

皮超杰 ;

徐国龙 ;

夏震 .

中国专利 :CN206751918U ,2017-12-15

[4]

回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

申辉 ;

邵春雷 ;

张传胜 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355330A ,2002-06-26

[5]

一种热丝化学气相沉积金刚石的设备 [P].

闻立时 ;

黄荣芳 ;

陈岩 ;

刘德义 ;

程新红 .

中国专利 :CN2283067Y ,1998-06-03

[6]

多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

孙方宏 ;

张文骅 ;

张志明 ;

郭松寿 ;

沈荷生 .

中国专利 :CN102586762A ,2012-07-18

[7]

光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

邵春雷 ;

彭鸿雁 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355329A ,2002-06-26

[8]

一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架 [P].

周检 ;

陈阿青 .

中国专利 :CN110938810B ,2024-10-01

[9]

一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架 [P].

周检 ;

陈阿青 .

中国专利 :CN110938810A ,2020-03-31

[10]

一种等离子热丝法化学气相沉积金刚石膜的装置 [P].

石玉龙 ;

谢广文 ;

阎凤英 ;

毕京锋 .

中国专利 :CN2666928Y ,2004-12-29

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