多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210085095.2

申请日：

2012-03-27

公开(公告)号：

CN102586762A

公开(公告)日：

2012-07-18

发明(设计)人：

孙方宏张文骅张志明郭松寿沈荷生

申请人：

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1646 C23C1630

代理机构：

上海汉声知识产权代理有限公司 31236

代理人：

郭国中

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101327320658 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2012100850952 申请日:20120327
2015-08-19	授权	授权
2012-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

申辉 ;

邵春雷 ;

张传胜 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355330A ,2002-06-26

[2]

一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置 [P].

皮超杰 ;

徐国龙 ;

夏震 .

中国专利 :CN206751918U ,2017-12-15

[3]

一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 ;

杨兵 ;

翟超峰 ;

李俊豪 ;

贾心怡 .

中国专利 :CN205954105U ,2017-02-15

[4]

化学气相沉积制备硅掺杂微纳复合金刚石薄膜的方法 [P].

王新昶 ;

孙方宏 ;

沈彬 ;

张志明 ;

郭松寿 ;

张文骅 .

中国专利 :CN103757600A ,2014-04-30

[5]

一种热丝化学气相沉积金刚石的设备 [P].

闻立时 ;

黄荣芳 ;

陈岩 ;

刘德义 ;

程新红 .

中国专利 :CN2283067Y ,1998-06-03

[6]

制备纳米金刚石薄膜的辅助栅极热丝化学气相沉积法 [P].

孙方宏 ;

张志明 ;

沈荷生 ;

郭松寿 .

中国专利 :CN1603464A ,2005-04-06

[7]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN209522918U ,2019-10-22

[8]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN109371380A ,2019-02-22

[9]

光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

邵春雷 ;

彭鸿雁 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355329A ,2002-06-26

[10]

一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架 [P].

周检 ;

陈阿青 .

中国专利 :CN110938810B ,2024-10-01

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