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一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922393448.5
申请日：
2019-12-27
公开(公告)号：
CN211771536U
公开(公告)日：
2020-10-27
发明(设计)人：
周检
陈阿青
申请人：
申请人地址：
310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区下沙街道元成路211号
IPC主分类号：
C23C1627
IPC分类号：
C23C1644
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-27 | 授权 | 授权 |