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用于制备大面积金刚石薄膜的热壁热丝CVD的装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920817137.4
申请日：
2019-06-03
公开(公告)号：
CN210134162U
公开(公告)日：
2020-03-10
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
310000 浙江省杭州市杭州经济技术开发区下沙街道元成路211号2幢4楼412室
IPC主分类号：
C23C1627
IPC分类号：
C23C16448
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-10 | 授权 | 授权 |