一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN96115163.3

申请日：

1996-03-20

公开(公告)号：

CN1067119C

公开(公告)日：

1997-09-24

发明(设计)人：

闻立时黄荣芳陈广超

申请人：

申请人地址：

110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C1646

代理机构：

中国科学院沈阳专利事务所

代理人：

张晨

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-05-18	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2001-06-13	授权	授权
1999-05-19	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
1997-09-24	公开	公开

共 50 条

[1]

光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

邵春雷 ;

彭鸿雁 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355329A ,2002-06-26

[2]

一种大面积沉积金刚石膜的热丝架 [P].

魏俊俊 ;

李成明 ;

高旭辉 ;

黑立富 ;

吕反修 .

中国专利 :CN202643836U ,2013-01-02

[3]

一种热丝化学气相沉积金刚石的设备 [P].

闻立时 ;

黄荣芳 ;

陈岩 ;

刘德义 ;

程新红 .

中国专利 :CN2283067Y ,1998-06-03

[4]

一种大面积沉积金刚石膜的热丝架及其制造方法 [P].

魏俊俊 ;

李成明 ;

高旭辉 ;

黑立富 ;

吕反修 .

中国专利 :CN102634770A ,2012-08-15

[5]

一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置 [P].

皮超杰 ;

徐国龙 ;

夏震 .

中国专利 :CN206751918U ,2017-12-15

[6]

振动热丝化学气相沉积设备及在金刚石涂层沉积中的用途 [P].

张韬 ;

薛喆 ;

孙方宏 .

中国专利 :CN105887042A ,2016-08-24

[7]

一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线 [P].

郭爱云 ;

周学卿 ;

赵灿东 ;

黄定平 .

中国专利 :CN205062179U ,2016-03-02

[8]

一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线 [P].

郭爱云 ;

周学卿 ;

赵灿东 ;

黄定平 .

中国专利 :CN104975275A ,2015-10-14

[9]

一种大面积热丝CVD金刚石薄膜生长装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 .

中国专利 :CN207552442U ,2018-06-29

[10]

多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

孙方宏 ;

张文骅 ;

张志明 ;

郭松寿 ;

沈荷生 .

中国专利 :CN102586762A ,2012-07-18

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