一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520561016.X

申请日：

2015-07-29

公开(公告)号：

CN205062179U

公开(公告)日：

2016-03-02

发明(设计)人：

郭爱云周学卿赵灿东黄定平

申请人：

申请人地址：

517000 广东省河源市源城区龙岭工业园龙岭三路企业服务中心大楼331房

IPC主分类号：

C23C1654

IPC分类号：

C23C1626 C23C1650

代理机构：

广州凯东知识产权代理有限公司 44259

代理人：

罗丹

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/54 申请日:20150729 授权公告日:20160302 终止日期:20200729
2016-03-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线 [P].

郭爱云 ;

周学卿 ;

赵灿东 ;

黄定平 .

中国专利 :CN104975275A ,2015-10-14

[2]

一种CVD金刚石化学气相沉积机构 [P].

刘宏明 ;

李升 .

中国专利 :CN222226547U ,2024-12-24

[3]

一种低温沉积大面积类金刚石薄膜的装置 [P].

钱锋 ;

林晶 ;

何光发 ;

杨海友 .

中国专利 :CN201756583U ,2011-03-09

[4]

多层化学气相沉积金刚石复合片 [P].

龚闯 ;

吴剑波 ;

朱长征 ;

余斌 .

中国专利 :CN206475522U ,2017-09-08

[5]

化学气相沉积金刚石均质喷嘴 [P].

周兵 ;

陈继锋 ;

刘志平 ;

刘广录 ;

郭松寿 ;

张柏春 .

中国专利 :CN2423289Y ,2001-03-14

[6]

光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

邵春雷 ;

彭鸿雁 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355329A ,2002-06-26

[7]

低温低压类金刚石膜化学气相沉积反应腔 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN205839124U ,2016-12-28

[8]

化学气相沉积金刚石的装置 [P].

李凯 ;

于再林 ;

李明欣 .

中国专利 :CN117926214A ,2024-04-26

[9]

一种化学气相沉积金刚石装置 [P].

晏双利 .

中国专利 :CN101831626A ,2010-09-15

[10]

用于生产化学气相沉积金刚石的方法 [P].

G·威廉姆斯 ;

C·沃特 .

中国专利 :CN114729468A ,2022-07-08

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