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反応チャンバ用の摺動スレッジを有する基材上の半導体材料のエピタキシャル堆積のための反応器[ja]
被引：0
申请号：
JP20240156585
申请日：
2024-09-10
公开(公告)号：
JP2025041560A
公开(公告)日：
2025-03-26
发明(设计)人：
MAURILIO GIUSEPPE MESCHIA
DANILO CRIPPA
SILVIO ROBERTO MARIO PRETI
FRANCESCO COREA
STEFANO POLLI
申请人：
LPE SPA
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/44
IPC分类号：
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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