一种拉晶炉副炉、晶棒直径测量方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411879769.5

申请日：

2024-12-19

公开(公告)号：

CN119737871A

公开(公告)日：

2025-04-01

发明(设计)人：

秦浩

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

G01B11/08

IPC分类号：

C30B15/00 C30B29/06 C30B15/22 C30B15/26 G01B17/00 G01S17/08

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

赵亮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/08申请日:20241219
2025-04-01	公开	公开
2025-10-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种拉晶炉副炉、晶棒直径测量方法及装置 [P].

秦浩 .

中国专利 :CN119737871B ,2025-10-28

[2]

一种拉晶炉晶棒直径测量装置及方法 [P].

吴超 .

中国专利 :CN117737833A ,2024-03-22

[3]

一种晶棒直径测量装置及晶棒直径测量方法 [P].

严涛 .

中国专利 :CN119915231A ,2025-05-02

[4]

一种用于清洁拉晶炉的副炉室的装置及拉晶炉 [P].

秦浩 .

中国专利 :CN117505430A ,2024-02-06

[5]

一种拉晶炉装置及拉晶方法 [P].

赵言 ;

陈水斌 ;

金光勋 .

中国专利 :CN119753813A ,2025-04-04

[6]

拉晶炉的冷却装置及拉晶炉 [P].

钟伟 .

中国专利 :CN115613120A ,2023-01-17

[7]

拉晶炉副室清理装置 [P].

巴铮 .

中国专利 :CN221006000U ,2024-05-24

[8]

一种拉晶炉的晶棒平衡控制系统以及拉晶炉 [P].

王昭 ;

蔡媛媛 ;

徐森炀 .

中国专利 :CN119877085A ,2025-04-25

[9]

拉晶夹具及拉晶炉 [P].

朱永刚 ;

李侨 .

中国专利 :CN216156014U ,2022-04-01

[10]

拉晶炉的冷却装置以及拉晶炉 [P].

沈伟民 ;

王刚 .

中国专利 :CN214168186U ,2021-09-10

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