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一种晶棒直径测量装置及晶棒直径测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510098390.9
申请日：
2025-01-22
公开(公告)号：
CN119915231A
公开(公告)日：
2025-05-02
发明(设计)人：
严涛
申请人：
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
申请人地址：
710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号：
G01B21/10
IPC分类号：
G01B21/12
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
赵亮
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 21/10申请日:20250122 |
| 2025-05-02 | 公开 | 公开 |