一种用于真空镀膜的防溅射绝缘导向装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421531296.5

申请日：

2024-07-01

公开(公告)号：

CN222729882U

公开(公告)日：

2025-04-08

发明(设计)人：

叶显飞江湖梅艳慧

申请人：

安徽华远装备科技有限公司

申请人地址：

242000 安徽省宣城市宣城经济技术开发区清流路99号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

代理机构：

南京匠桥专利代理有限公司 32568

代理人：

郭云飞

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-08	授权	授权

共 50 条

[1]

用于真空镀膜的磁导向装置 [P].

汪奇 ;

陶道昌 .

中国专利 :CN203593783U ,2014-05-14

[2]

一种用于真空镀膜的磁导向装置 [P].

闫都伦 ;

刘梦杰 ;

吴细标 ;

刘达俊 ;

王克斌 ;

唐贵民 .

中国专利 :CN203462125U ,2014-03-05

[3]

用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒 [P].

刘石泉 ;

温斌 ;

蓝佩 .

中国专利 :CN223150635U ,2025-07-25

[4]

一种溅射距离可调的磁控溅射真空镀膜装置 [P].

娄国明 ;

来华杭 ;

麻春雷 ;

江嘉 ;

李赢 .

中国专利 :CN209669342U ,2019-11-22

[5]

一种溅射距离可调的磁控溅射真空镀膜装置 [P].

舒本剑 .

中国专利 :CN216947169U ,2022-07-12

[6]

用于真空镀膜的磁导向单元 [P].

马磊 ;

李忠 ;

刘成 ;

褚凯 .

中国专利 :CN204111862U ,2015-01-21

[7]

一种真空镀膜溅射靶的测温装置 [P].

马毅 ;

王瑞聪 ;

黄先伟 ;

谢续友 .

中国专利 :CN214361652U ,2021-10-08

[8]

磁控溅射真空镀膜装置 [P].

孙桂红 ;

陈立 ;

梁红 ;

祝海生 ;

李俊杰 ;

李新栓 ;

寇立 ;

薛闯 ;

桂丹 ;

刘柏桢 ;

黄乐 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN117845176A ,2024-04-09

[9]

真空镀膜设备用磁导向装置 [P].

李东岳 ;

张学星 ;

王兴立 ;

王建军 ;

张彦清 ;

袁志尧 .

中国专利 :CN204550702U ,2015-08-12

[10]

一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉 [P].

吴晓明 .

中国专利 :CN211036071U ,2020-07-17

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