一种用于真空镀膜的磁导向装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320386800.2

申请日：

2013-06-25

公开(公告)号：

CN203462125U

公开(公告)日：

2014-03-05

发明(设计)人：

闫都伦刘梦杰吴细标刘达俊王克斌唐贵民

申请人：

申请人地址：

518029 广东省深圳市福田区八卦四路先科大院内光盘厂三层东侧

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20130625 授权公告日:20140305 终止日期:20190625
2014-03-05	授权	授权

共 50 条

[1]

用于真空镀膜的磁导向装置 [P].

汪奇 ;

陶道昌 .

中国专利 :CN203593783U ,2014-05-14

[2]

用于真空镀膜的磁导向单元 [P].

马磊 ;

李忠 ;

刘成 ;

褚凯 .

中国专利 :CN204111862U ,2015-01-21

[3]

真空镀膜设备用磁导向装置 [P].

李东岳 ;

张学星 ;

王兴立 ;

王建军 ;

张彦清 ;

袁志尧 .

中国专利 :CN204550702U ,2015-08-12

[4]

一种真空镀膜设备的磁导向装置 [P].

张德云 ;

潘振强 .

中国专利 :CN120989566A ,2025-11-21

[5]

一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构 [P].

刘光斗 ;

舒逸 ;

李赞 .

中国专利 :CN208917299U ,2019-05-31

[6]

真空镀膜生产线基片架磁导向装置 [P].

黄国兴 ;

孙桂红 ;

祝海生 ;

郭爱云 ;

黄乐 .

中国专利 :CN201695084U ,2011-01-05

[7]

一种用于真空镀膜的防溅射绝缘导向装置 [P].

叶显飞 ;

江湖 ;

梅艳慧 .

中国专利 :CN222729882U ,2025-04-08

[8]

一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构 [P].

刘光斗 ;

舒逸 ;

李赞 .

中国专利 :CN108774732B ,2024-01-30

[9]

一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构 [P].

刘光斗 ;

舒逸 ;

李赞 .

中国专利 :CN108774732A ,2018-11-09

[10]

一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备 [P].

钱栋力 .

中国专利 :CN208023082U ,2018-10-30

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