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一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810859252.8
申请日：
2018-07-31
公开(公告)号：
CN108774732B
公开(公告)日：
2024-01-30
发明(设计)人：
刘光斗
舒逸
李赞
申请人：
湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请人地址：
411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
C23C14/50
代理机构：
湖南格创知识产权代理事务所(普通合伙) 43263
代理人：
张文
法律状态：
授权
国省代码：
湖南省
湘潭市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-30 | 授权 | 授权 |