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一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810859240.5
申请日：
2018-07-31
公开(公告)号：
CN108842137B
公开(公告)日：
2024-05-31
发明(设计)人：
刘光斗 舒逸 李赞
申请人：
湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请人地址：
411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号
IPC主分类号：
C23C14/24
IPC分类号：
代理机构：
湖南格创知识产权代理事务所(普通合伙) 43263
代理人：
张文
法律状态：
授权
国省代码：
湖南省 湘潭市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-05-31 授权 授权
共 50 条
[1]
一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN108842137A ,2018-11-20
[2]
一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN208917284U ,2019-05-31
[3]
一种真空镀膜机基片架传送系统 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN108866504B ,2024-01-30
[4]
一种真空镀膜机基片架传送系统 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN108866504A ,2018-11-23
[5]
一种真空镀膜机基片架传送系统 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN208917300U ,2019-05-31
[6]
一种真空镀膜机基片架传送装置 [P]. 
李长栋 ;
魏承亚 ;
魏俊杰 .
中国专利 :CN213327821U ,2021-06-01
[7]
一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN208917299U ,2019-05-31
[8]
一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN108774732B ,2024-01-30
[9]
一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN108774732A ,2018-11-09
[10]
一种真空镀膜机真空室基片架升降机构 [P]. 
刘光斗 ;
舒逸 ;
李赞 .
中国专利 :CN108774731A ,2018-11-09
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