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一种真空镀膜机基片架传送系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810859235.4
申请日：
2018-07-31
公开(公告)号：
CN108866504A
公开(公告)日：
2018-11-23
发明(设计)人：
刘光斗
舒逸
李赞
申请人：
申请人地址：
411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-11-23 | 公开 | 公开 |
| 2018-12-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20180731 |