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一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821223547.8
申请日：
2018-07-31
公开(公告)号：
CN208917299U
公开(公告)日：
2019-05-31
发明(设计)人：
刘光斗
舒逸
李赞
申请人：
申请人地址：
411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
C23C1450
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-31 | 授权 | 授权 |