一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810859252.8

申请日：

2018-07-31

公开(公告)号：

CN108774732A

公开(公告)日：

2018-11-09

发明(设计)人：

刘光斗舒逸李赞

申请人：

申请人地址：

411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1450

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-09	公开	公开
2018-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20180731

共 50 条

[1]

一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构 [P].

刘光斗 ;

舒逸 ;

李赞 .

中国专利 :CN108774732B ,2024-01-30

[2]

一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构 [P].

刘光斗 ;

舒逸 ;

李赞 .

中国专利 :CN208917299U ,2019-05-31

[3]

一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置 [P].

刘光斗 ;

舒逸 ;

李赞 .

中国专利 :CN108842137A ,2018-11-20

[4]

一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置 [P].

刘光斗 ;

舒逸 ;

李赞 .

中国专利 :CN108842137B ,2024-05-31

[5]

一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置 [P].

刘光斗 ;

舒逸 ;

李赞 .

中国专利 :CN208917284U ,2019-05-31

[6]

一种真空镀膜夹持机构及真空镀膜机 [P].

来华杭 ;

顾子莺 ;

刘杰 ;

谢斌斌 ;

朱冰冰 ;

李建镇 .

中国专利 :CN220485822U ,2024-02-13

[7]

真空镀膜机 [P].

段元成 ;

毛祖献 ;

容春华 .

中国专利 :CN205258592U ,2016-05-25

[8]

真空镀膜机 [P].

张石权 ;

任小明 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN1311348A ,2001-09-05

[9]

真空镀膜机 [P].

郭艳平 ;

解武波 ;

其他设计人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN302672565S ,2013-12-04

[10]

真空镀膜机 [P].

陈弘 .

中国专利 :CN205774768U ,2016-12-07

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