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一种半导体管道加热设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202421388929.1
申请日
:
2024-06-18
公开(公告)号
:
CN222717753U
公开(公告)日
:
2025-04-04
发明(设计)人
:
马庆峰
苏妍怡
陈聚亮
陈国伟
申请人
:
无锡市国瑞热控科技有限公司
申请人地址
:
214000 江苏省无锡市滨湖区蠡园开发区标准写字楼A4六层
IPC主分类号
:
F16L53/32
IPC分类号
:
代理机构
:
无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471
代理人
:
上官会会
法律状态
:
授权
国省代码
:
河北省 石家庄市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-04-04
授权
授权
共 50 条
[1]
一种半导体管道加热设备
[P].
刘波
论文数:
0
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0
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0
机构:
浙江道田真空科技有限公司
浙江道田真空科技有限公司
刘波
.
中国专利
:CN221301594U
,2024-07-09
[2]
半导体管道加热设备
[P].
徐赛
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0
徐赛
;
孙康康
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孙康康
.
中国专利
:CN212869378U
,2021-04-02
[3]
一种半导体反应腔室加热设备及方法
[P].
郑锦
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郑锦
;
姚铖
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姚铖
;
陶佳月
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陶佳月
;
张帅
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张帅
.
中国专利
:CN115083962A
,2022-09-20
[4]
一种加热结构及半导体处理设备
[P].
陶珩
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
陶珩
;
何伟业
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
何伟业
;
陈冬
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
陈冬
;
吴红星
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
吴红星
;
许灿
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
许灿
;
姜勇
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
姜勇
;
李雪子
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
李雪子
;
刘雯伊
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
刘雯伊
.
中国专利
:CN223321237U
,2025-09-09
[5]
一种半导体钢瓶加热设备
[P].
靳坤鹏
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机构:
拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
靳坤鹏
;
关帅
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拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
关帅
;
吴凤丽
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拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
吴凤丽
;
陈新益
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机构:
拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
陈新益
.
中国专利
:CN221548412U
,2024-08-16
[6]
一种井口管道半导体加热器
[P].
蔺爱国
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蔺爱国
;
黄光明
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黄光明
;
丁丽
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丁丽
;
丁兴华
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丁兴华
;
马莹莹
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马莹莹
.
中国专利
:CN206861262U
,2018-01-09
[7]
一种半导体管道外壁加热系统
[P].
车忠成
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车忠成
;
于昊
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于昊
;
车泓艺
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车泓艺
.
中国专利
:CN212390620U
,2021-01-22
[8]
一种半导体设备中的加热装置及半导体设备
[P].
李冰
论文数:
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
李冰
.
中国专利
:CN111477569B
,2024-02-27
[9]
一种半导体设备中的加热装置及半导体设备
[P].
李冰
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李冰
.
中国专利
:CN111477569A
,2020-07-31
[10]
一种半导体加热炉
[P].
王鑫
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王鑫
.
中国专利
:CN212930979U
,2021-04-09
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