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涂胶机用晶圆居中机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420783735.5
申请日：
2024-04-16
公开(公告)号：
CN222695217U
公开(公告)日：
2025-04-01
发明(设计)人：
高波
申请人：
苏州康沃斯智能装备有限公司
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路1001号联东U谷4栋3楼
IPC主分类号：
B05C13/02
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-01 | 授权 | 授权 |