一种钠掺杂铜靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411842089.6

申请日：

2024-12-13

公开(公告)号：

CN119710585A

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

肖翀文崇斌谢小林张绍桢

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9区

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

B22F9/04 B22F3/14 B22F3/02

代理机构：

长沙辰齐知壹知识产权代理事务所(普通合伙) 43290

代理人：

肖小龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20241213
2025-03-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种掺杂硒化铟靶材及其制备方法 [P].

沈文兴 ;

白平平 ;

童培云 .

中国专利 :CN114804882A ,2022-07-29

[2]

一种锑掺杂碲化镉靶材的制备方法 [P].

文崇斌 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN117209278B ,2025-10-17

[3]

一种钠掺杂钼平面靶材的制备方法 [P].

朱琦 ;

王娜 ;

王林 ;

陈强 .

中国专利 :CN105112859B ,2015-12-02

[4]

一种碲化锌掺铜靶材的制备方法 [P].

周荣艳 ;

吴彩红 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN113372117A ,2021-09-10

[5]

一种钨靶材及其制备方法 [P].

范宁 ;

贾倩 ;

丁照崇 ;

何金江 ;

罗俊锋 ;

李勇军 .

中国专利 :CN118345341A ,2024-07-16

[6]

一种铜镓靶材及其制备方法 [P].

蔡新志 ;

朱刘 ;

童培云 ;

黄宇彬 ;

冉成义 ;

阿南·辛格·迪欧达特 .

中国专利 :CN110218981A ,2019-09-10

[7]

一种氧化铪靶材及其制备方法 [P].

王小兰 ;

高健成 ;

马国成 ;

童培云 .

中国专利 :CN120040179A ,2025-05-27

[8]

一种铝钇合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118910568B ,2025-05-09

[9]

一种铝钇合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118910568A ,2024-11-08

[10]

一种硫化钨靶材的制备方法 [P].

康明生 ;

崔娜 ;

朱辉 ;

郄奕 ;

张卫 ;

李松敏 .

中国专利 :CN108585868A ,2018-09-28

← 1 2 3 4 5 →