一种铝钇合金复合靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410997385.7

申请日：

2024-07-24

公开(公告)号：

CN118910568B

公开(公告)日：

2025-05-09

发明(设计)人：

张凤戈张欠男张学华魏铁峰孟晓亭

申请人：

苏州六九新材料科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市苏州工业园区漕湖街道春兴路45号平谦国际（苏相）产业园二期K栋5楼西侧

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/14 C23C14/34 B22F3/14 C22C1/04

代理机构：

北京维正专利代理有限公司 11508

代理人：

陈方

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	公开	公开
2024-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20240724
2025-05-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种铝钇合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118910568A ,2024-11-08

[2]

一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张学华 ;

缪磊 .

中国专利 :CN114262872B ,2024-03-08

[3]

一种FeSiAl-Fe复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

高众 .

中国专利 :CN119549719A ,2025-03-04

[4]

一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张学华 ;

缪磊 .

中国专利 :CN114262872A ,2022-04-01

[5]

一种CrAlO复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

姚伟 .

中国专利 :CN117721425A ,2024-03-19

[6]

复合靶材及其制备方法 [P].

张新倍 ;

陈文荣 ;

蒋焕梧 ;

陈正士 ;

黄嘉 .

中国专利 :CN102336566A ,2012-02-01

[7]

一种CrAlCu复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

施政 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

张学华 .

中国专利 :CN116988026B ,2024-04-16

[8]

一种复合靶材及其制造方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张学华 ;

繆磊 .

中国专利 :CN113981389A ,2022-01-28

[9]

一种铝钛合金靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

张怡忠 ;

孙慧芳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN118390011A ,2024-07-26

[10]

一种AlZr复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

孟晓亭 ;

魏铁峰 ;

施政 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

张学华 .

中国专利 :CN116695076B ,2024-03-29

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