一种AlZr复合靶材及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310911094.7

申请日：

2023-07-24

公开(公告)号：

CN116695076B

公开(公告)日：

2024-03-29

发明(设计)人：

张凤戈孟晓亭魏铁峰施政张欠男岳万祥张学华

申请人：

苏州六九新材料科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市苏州工业园区漕湖街道春兴路45号平谦国际（苏相）产业园二期K栋5楼西侧

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

B22F1/00 B22F3/15 B22F3/03 B22F3/10

代理机构：

北京维正专利代理有限公司 11508

代理人：

沈娟

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种CrAlO复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

姚伟 .

中国专利 :CN117721425A ,2024-03-19

[2]

一种CrAlCu复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

施政 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

张学华 .

中国专利 :CN116988026B ,2024-04-16

[3]

复合靶材及其制备方法 [P].

张新倍 ;

陈文荣 ;

蒋焕梧 ;

陈正士 ;

黄嘉 .

中国专利 :CN102336566A ,2012-02-01

[4]

一种氧化钛锆复合靶材及其制备方法和应用 [P].

周志宏 ;

周昭寅 ;

肖明 ;

刘青雄 .

中国专利 :CN120965318A ,2025-11-18

[5]

一种复合靶材及其制作方法和应用 [P].

余灿 ;

柳守节 ;

肖海龙 ;

王熙 ;

臧一鹏 ;

梅丙宝 .

中国专利 :CN120989565A ,2025-11-21

[6]

一种铝钇合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118910568B ,2025-05-09

[7]

一种SnO<sub>2</sub>基复合靶材及其制备方法和应用 [P].

高钰航 ;

陈露 ;

葛春桥 .

中国专利 :CN118756101A ,2024-10-11

[8]

一种铝钇合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118910568A ,2024-11-08

[9]

一种FeSiAl-Fe复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

高众 .

中国专利 :CN119549719A ,2025-03-04

[10]

一种复合靶材及其制造方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张学华 ;

繆磊 .

中国专利 :CN113981389A ,2022-01-28

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