一种氧化钛锆复合靶材及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511002162.3
申请日
2025-07-21
公开(公告)号
CN120965318A
公开(公告)日
2025-11-18
发明(设计)人
周志宏 周昭寅 肖明 刘青雄
申请人
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
510000 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
IPC主分类号
C04B35/49
IPC分类号
C04B35/488 C04B35/622 C04B35/64 C23C14/34 G02B1/113 G02B1/14
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
陈佳纯
法律状态
实质审查的生效
国省代码
广东省 广州市
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共 50 条
[1]
一种铜锆钛复合靶材及其制备方法 [P]. 
张凤戈 ;
施政 ;
魏铁峰 ;
张学华 ;
张欠男 ;
岳万祥 ;
郭桦帅 .
中国专利 :CN120888881A ,2025-11-04
[2]
一种CrAlO复合靶材及其制备方法和应用 [P]. 
张凤戈 ;
张欠男 ;
魏铁峰 ;
岳万祥 ;
姚伟 .
中国专利 :CN117721425A ,2024-03-19
[3]
一种氧化钛锆喷涂粉、氧化钛锆靶材及其制备方法 [P]. 
董小雨 ;
刘文杰 ;
余芳 ;
童培云 .
中国专利 :CN120329027A ,2025-07-18
[4]
复合靶材及其制备方法 [P]. 
张新倍 ;
陈文荣 ;
蒋焕梧 ;
陈正士 ;
黄嘉 .
中国专利 :CN102336566A ,2012-02-01
[5]
一种AlZr复合靶材及其制备方法和应用 [P]. 
张凤戈 ;
孟晓亭 ;
魏铁峰 ;
施政 ;
张欠男 ;
岳万祥 ;
张学华 .
中国专利 :CN116695076B ,2024-03-29
[6]
一种CrAlCu复合靶材及其制备方法和应用 [P]. 
张凤戈 ;
施政 ;
魏铁峰 ;
孟晓亭 ;
张欠男 ;
岳万祥 ;
张学华 .
中国专利 :CN116988026B ,2024-04-16
[7]
一种氧化锌基复合靶材及其制备方法与应用 [P]. 
冯海权 ;
吕建钢 ;
王凤林 .
中国专利 :CN118851743A ,2024-10-29
[8]
一种氧化锌基复合靶材及其制备方法与应用 [P]. 
冯海权 ;
吕建钢 ;
王凤林 .
中国专利 :CN118851743B ,2025-03-21
[9]
一种氧化锡基复合靶材及其制备方法 [P]. 
姚远 ;
张启华 ;
杜宝珩 ;
张莉兰 ;
王屹波 ;
蒋一昌 ;
李娜娜 .
中国专利 :CN120903932B ,2025-12-12
[10]
一种氧化锡基复合靶材及其制备方法 [P]. 
姚远 ;
张启华 ;
杜宝珩 ;
张莉兰 ;
王屹波 ;
蒋一昌 ;
李娜娜 .
中国专利 :CN120903932A ,2025-11-07