一种铜锆钛复合靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511070092.5

申请日：

2025-07-31

公开(公告)号：

CN120888881A

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

张凤戈施政魏铁峰张学华张欠男岳万祥郭桦帅

申请人：

苏州六九新材料科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市漕湖街道春兴路46号平谦国际（苏相）产业园三期L栋

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

B22F3/105

代理机构：

北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387

代理人：

鲁雪;刘建荣

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	公开	公开
2025-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20250731

共 50 条

[1]

一种氧化钛锆复合靶材及其制备方法和应用 [P].

周志宏 ;

周昭寅 ;

肖明 ;

刘青雄 .

中国专利 :CN120965318A ,2025-11-18

[2]

复合靶材及其制备方法 [P].

张新倍 ;

陈文荣 ;

蒋焕梧 ;

陈正士 ;

黄嘉 .

中国专利 :CN102336566A ,2012-02-01

[3]

一种CrAlO复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

姚伟 .

中国专利 :CN117721425A ,2024-03-19

[4]

一种碳铜复合靶材的制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN106119789A ,2016-11-16

[5]

一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张学华 ;

缪磊 .

中国专利 :CN114262872B ,2024-03-08

[6]

一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张学华 ;

缪磊 .

中国专利 :CN114262872A ,2022-04-01

[7]

一种铝钇合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118910568B ,2025-05-09

[8]

一种铝钇合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118910568A ,2024-11-08

[9]

一种FeSiAl-Fe复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

高众 .

中国专利 :CN119549719A ,2025-03-04

[10]

一种CrAlCu复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

施政 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

张学华 .

中国专利 :CN116988026B ,2024-04-16

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