一种碳铜复合靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610656529.8

申请日：

2016-08-12

公开(公告)号：

CN106119789A

公开(公告)日：

2016-11-16

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

215009 江苏省苏州市高新区美田里路2号5幢113室

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C110 C22C900 C22F108

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-16	公开	公开
2016-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101691392367 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2016106565298 申请日:20160812
2019-04-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20161116

共 50 条

[1]

复合靶材及其制备方法 [P].

张新倍 ;

陈文荣 ;

蒋焕梧 ;

陈正士 ;

黄嘉 .

中国专利 :CN102336566A ,2012-02-01

[2]

一种铜锆钛复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

施政 ;

魏铁峰 ;

张学华 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

郭桦帅 .

中国专利 :CN120888881A ,2025-11-04

[3]

一种复合靶材及其制造方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张学华 ;

繆磊 .

中国专利 :CN113981389A ,2022-01-28

[4]

一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

孟晓亭 ;

魏铁峰 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

施政 ;

郭桦帅 .

中国专利 :CN118756102A ,2024-10-11

[5]

一种复合靶材的凝胶法制备工艺 [P].

张莉兰 ;

王恒煜 ;

高建成 ;

余芳 ;

钟小华 .

中国专利 :CN117550887A ,2024-02-13

[6]

一种铬金属复合靶材 [P].

单丹丹 ;

张法亮 ;

张法治 .

中国专利 :CN213172543U ,2021-05-11

[7]

一种氧化锡基复合靶材及其制备方法 [P].

姚远 ;

张启华 ;

杜宝珩 ;

张莉兰 ;

王屹波 ;

蒋一昌 ;

李娜娜 .

中国专利 :CN120903932B ,2025-12-12

[8]

一种铝钇合金复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118910568B ,2025-05-09

[9]

一种CrAlO复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

姚伟 .

中国专利 :CN117721425A ,2024-03-19

[10]

一种AlZr复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

孟晓亭 ;

魏铁峰 ;

施政 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

张学华 .

中国专利 :CN116695076B ,2024-03-29

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