一种复合靶材及其制作方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510922112.0

申请日：

2025-07-04

公开(公告)号：

CN120989565A

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

余灿柳守节肖海龙王熙臧一鹏梅丙宝

申请人：

安徽吸收谱仪器设备有限公司

申请人地址：

231299 安徽省合肥市高新区明珠大道198号星梦园G6栋201室

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/14 C23C14/06 C23C14/02 C23C14/58 G01N23/2273

代理机构：

安徽知问律师事务所 34134

代理人：

屈利颍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250704
2025-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

复合靶体及其制作方法 [P].

沙健 ;

马向阳 ;

焦正宽 ;

葛洪良 .

中国专利 :CN1057572C ,1998-07-29

[2]

一种CrAlO复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

姚伟 .

中国专利 :CN117721425A ,2024-03-19

[3]

一种AlZr复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

孟晓亭 ;

魏铁峰 ;

施政 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

张学华 .

中国专利 :CN116695076B ,2024-03-29

[4]

一种CrAlCu复合靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

施政 ;

魏铁峰 ;

孟晓亭 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

张学华 .

中国专利 :CN116988026B ,2024-04-16

[5]

一种复合靶制作方法 [P].

徐马龙 ;

王勇 ;

蒋崇进 ;

杨莉 ;

张华利 ;

彭俊中 .

中国专利 :CN120769435A ,2025-10-10

[6]

复合靶材及其制备方法 [P].

张新倍 ;

陈文荣 ;

蒋焕梧 ;

陈正士 ;

黄嘉 .

中国专利 :CN102336566A ,2012-02-01

[7]

一种复合靶材及其制造方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张学华 ;

繆磊 .

中国专利 :CN113981389A ,2022-01-28

[8]

一种氧化钛锆复合靶材及其制备方法和应用 [P].

周志宏 ;

周昭寅 ;

肖明 ;

刘青雄 .

中国专利 :CN120965318A ,2025-11-18

[9]

一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

孟晓亭 ;

魏铁峰 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

施政 ;

郭桦帅 .

中国专利 :CN118756102A ,2024-10-11

[10]

一种银复合靶材制造方法及其制品 [P].

林杰 ;

王维纲 ;

张群 .

中国专利 :CN104827035B ,2015-08-12

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