利用带电粒子显微术检查样本的取向的方法和系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411316757.1

申请日：

2024-09-20

公开(公告)号：

CN119738431A

公开(公告)日：

2025-04-01

发明(设计)人：

R·瓦伊纳 B·斯特拉卡 J·霍尔泽

申请人：

FEI公司

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

G01N23/203

IPC分类号：

G01N23/2251

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

史婧;后云钟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-01	公开	公开

共 50 条

[1]

用于带电粒子显微术的样本的制备 [P].

H-W.雷米格伊 .

中国专利 :CN105914122B ,2016-08-31

[2]

在带电粒子显微镜中检查样本的方法 [P].

I.拉兹 ;

E.G.T.博思 ;

F.博格霍贝 ;

B.布伊斯塞 ;

K.S.塞德 ;

S.拉扎 .

中国专利 :CN104865276B ,2015-08-26

[3]

时间分辨的带电粒子显微术 [P].

E.R.基伊夫特 .

中国专利 :CN108122725B ,2018-06-05

[4]

用于带电粒子显微术的冷冻样本的制备 [P].

H-W.米格 ;

K.斯穆德斯-维梅斯 ;

M.M.奧维斯延科 ;

K.S.萨德 ;

F.尼佩斯 .

中国专利 :CN104517791B ,2015-04-15

[5]

用于带电粒子显微术中的检测方法 [P].

P.哈拉文卡 ;

M.昂科夫斯基 .

中国专利 :CN102637571B ,2012-08-15

[6]

具有遮挡检测的带电粒子显微术 [P].

D·W·小菲弗 ;

F·布格霍贝尔 .

中国专利 :CN102789944B ,2012-11-21

[7]

用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法 [P].

L.图玛 .

美国专利 :CN111243928B ,2025-07-29

[8]

用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法 [P].

L.图玛 .

中国专利 :CN111243928A ,2020-06-05

[9]

具有增强的电子检测的带电粒子显微术 [P].

A.A.S.斯鲁伊特曼恩 ;

E.G.T.博世 .

中国专利 :CN104681382A ,2015-06-03

[10]

使用带电粒子显微镜检查样品的方法 [P].

T.图玛 ;

J.赫拉迪尔 ;

P.赫拉文卡 .

中国专利 :CN110849926A ,2020-02-28

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