具有遮挡检测的带电粒子显微术

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210158607.3

申请日：

2012-05-16

公开(公告)号：

CN102789944B

公开(公告)日：

2012-11-21

发明(设计)人：

D·W·小菲弗 F·布格霍贝尔

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J3700

IPC分类号：

G01N2322

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

王岳;李浩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-21	公开	公开
2014-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582999113 IPC(主分类):H01J 37/00 专利申请号:2012101586073 申请日:20120516
2016-07-06	授权	授权

共 50 条

[1]

具有增强的电子检测的带电粒子显微术 [P].

A.A.S.斯鲁伊特曼恩 ;

E.G.T.博世 .

中国专利 :CN104681382A ,2015-06-03

[2]

用于带电粒子显微术中的检测方法 [P].

P.哈拉文卡 ;

M.昂科夫斯基 .

中国专利 :CN102637571B ,2012-08-15

[3]

具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜 [P].

E·弗兰肯 ;

T·瓦斯洛特 ;

B·詹森 .

美国专利 :CN120809561A ,2025-10-17

[4]

时间分辨的带电粒子显微术 [P].

E.R.基伊夫特 .

中国专利 :CN108122725B ,2018-06-05

[5]

用于带电粒子显微术的样本的制备 [P].

H-W.雷米格伊 .

中国专利 :CN105914122B ,2016-08-31

[6]

提供深度分辨图像的带电粒子显微镜 [P].

F.布格霍贝尔 ;

P.波托塞克 ;

C.S.库伊曼 ;

B.H.利希 .

中国专利 :CN102931044B ,2013-02-13

[7]

提供深度分辨图像的带电粒子显微镜 [P].

F.布格霍贝尔 ;

E.G.T.博施 ;

P.波托塞克 ;

X.朱格 ;

B.H.利希 .

中国专利 :CN103367085B ,2013-10-23

[8]

用于显微术的半导体带电粒子检测器 [P].

王勇新 ;

董仲华 ;

赖瑞霖 ;

金井建一 .

中国专利 :CN112243531A ,2021-01-19

[9]

用于带电粒子显微术的屏蔽式检测器 [P].

P·赫拉文卡 ;

E·斯塔斯特纳 ;

V·马赫尔 ;

J·克鲁斯 ;

B·斯特拉卡 .

美国专利 :CN119517710A ,2025-02-25

[10]

具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜 [P].

P.波托塞克 ;

F.M.H.M.范拉亚霍文 ;

F.博霍贝 ;

R.肖恩马克斯 ;

P.C.蒂伊梅杰 .

中国专利 :CN105529235A ,2016-04-27

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