用于显微术的半导体带电粒子检测器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980038632.8

申请日：

2019-06-04

公开(公告)号：

CN112243531A

公开(公告)日：

2021-01-19

发明(设计)人：

王勇新董仲华赖瑞霖金井建一

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

H01J37244

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

杨飞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-19	公开	公开
2021-02-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/244 申请日:20190604

共 50 条

[1]

用于带电粒子显微术的屏蔽式检测器 [P].

P·赫拉文卡 ;

E·斯塔斯特纳 ;

V·马赫尔 ;

J·克鲁斯 ;

B·斯特拉卡 .

美国专利 :CN119517710A ,2025-02-25

[2]

半导体带电粒子检测器及其方法 [P].

P·拉马钱德拉·拉奥 ;

S·詹森 .

:CN119404282A ,2025-02-07

[3]

具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜 [P].

E·弗兰肯 ;

T·瓦斯洛特 ;

B·詹森 .

美国专利 :CN120809561A ,2025-10-17

[4]

带电粒子检测器 [P].

A·V·G·曼格努斯 ;

E·斯洛特 .

:CN117597761A ,2024-02-23

[5]

用于带电粒子显微术中的检测方法 [P].

P.哈拉文卡 ;

M.昂科夫斯基 .

中国专利 :CN102637571B ,2012-08-15

[6]

用于显微术的带电粒子探测器 [P].

A·J·A·伯克曼 ;

I·范韦佩伦 .

:CN119317992A ,2025-01-14

[7]

显微镜的带电粒子检测器 [P].

I·范韦佩伦 .

:CN120019466A ,2025-05-16

[8]

带电粒子检测器 [P].

须山本比吕 ;

小林浩之 ;

服部真也 .

中国专利 :CN107710380B ,2018-02-16

[9]

带电粒子检测器 [P].

A·V·G·曼格努斯 .

:CN117597762A ,2024-02-23

[10]

具有遮挡检测的带电粒子显微术 [P].

D·W·小菲弗 ;

F·布格霍贝尔 .

中国专利 :CN102789944B ,2012-11-21

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