用于带电粒子显微术的屏蔽式检测器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411011614.X

申请日：

2024-07-26

公开(公告)号：

CN119517710A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

P·赫拉文卡 E·斯塔斯特纳 V·马赫尔 J·克鲁斯 B·斯特拉卡

申请人：

FEI公司

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J37/244

IPC分类号：

H01J37/28 H01J37/26 G01N23/20091

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

张凌苗;吕传奇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	公开	公开

共 50 条

[1]

用于显微术的半导体带电粒子检测器 [P].

王勇新 ;

董仲华 ;

赖瑞霖 ;

金井建一 .

中国专利 :CN112243531A ,2021-01-19

[2]

具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜 [P].

E·弗兰肯 ;

T·瓦斯洛特 ;

B·詹森 .

美国专利 :CN120809561A ,2025-10-17

[3]

用于带电粒子显微术中的检测方法 [P].

P.哈拉文卡 ;

M.昂科夫斯基 .

中国专利 :CN102637571B ,2012-08-15

[4]

带电粒子检测器 [P].

须山本比吕 ;

小林浩之 ;

服部真也 .

中国专利 :CN107710380B ,2018-02-16

[5]

带电粒子检测器 [P].

A·V·G·曼格努斯 .

:CN117597762A ,2024-02-23

[6]

具有遮挡检测的带电粒子显微术 [P].

D·W·小菲弗 ;

F·布格霍贝尔 .

中国专利 :CN102789944B ,2012-11-21

[7]

带电粒子检测器 [P].

A·V·G·曼格努斯 ;

E·斯洛特 .

:CN117597761A ,2024-02-23

[8]

时间分辨的带电粒子显微术 [P].

E.R.基伊夫特 .

中国专利 :CN108122725B ,2018-06-05

[9]

用于显微术的带电粒子探测器 [P].

A·J·A·伯克曼 ;

I·范韦佩伦 .

:CN119317992A ,2025-01-14

[10]

显微镜的带电粒子检测器 [P].

I·范韦佩伦 .

:CN120019466A ,2025-05-16

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