一种靶材的校平方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310497276.4

申请日：

2023-05-05

公开(公告)号：

CN116516305B

公开(公告)日：

2025-04-22

发明(设计)人：

姚力军潘杰宋阳阳周鹏飞吴东青

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

牛海燕

法律状态：

授权

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种靶材的焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 .

中国专利 :CN106695145A ,2017-05-24

[2]

一种靶材组件及靶材组件制作方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

王少平 .

中国专利 :CN113878308B ,2022-01-04

[3]

一种管状靶材的绑定方法 [P].

盖伟 ;

古建国 ;

尹凯 ;

张立新 .

中国专利 :CN113025974A ,2021-06-25

[4]

靶材的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

吴发游 .

中国专利 :CN107790745A ,2018-03-13

[5]

一种靶材矫正方法 [P].

姚力军 ;

晏和楠 ;

庄展业 ;

唐子清 ;

郭芬 ;

范文新 .

中国专利 :CN120679868A ,2025-09-23

[6]

一种铜靶材的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

刘胜秀 ;

周伟君 ;

王青松 .

中国专利 :CN121137542A ,2025-12-16

[7]

一种靶材的热处理淬火方法 [P].

黄旭东 ;

黄宇彬 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113652526B ,2021-11-16

[8]

一种靶材组件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

侯娟华 .

中国专利 :CN212925152U ,2021-04-09

[9]

一种靶材和背板的焊接方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

江胜君 .

中国专利 :CN112743216A ,2021-05-04

[10]

一种检测靶材溅射性能的方法 [P].

鲍明东 .

中国专利 :CN120683461A ,2025-09-23

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