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一种检测靶材溅射性能的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510933941.9
申请日：
2025-07-08
公开(公告)号：
CN120683461A
公开(公告)日：
2025-09-23
发明(设计)人：
鲍明东
申请人：
宁波工程学院
申请人地址：
315211 浙江省宁波市江北区风华路201号
IPC主分类号：
C23C14/35
IPC分类号：
C23C14/54
代理机构：
宁波诚源专利事务所有限公司 33102
代理人：
胡志萍;徐恩斌
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省 宁波市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-14 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250708
2025-09-23 公开 公开
共 50 条
[1]
检测金属靶材溅射性能的方法 [P]. 
鲍明东 .
中国专利 :CN115595544A ,2023-01-13
[2]
检测金属靶材溅射性能的方法 [P]. 
鲍明东 .
中国专利 :CN115595544B ,2024-05-28
[3]
一种靶材、磁控溅射装置及溅射方法、溅射薄膜 [P]. 
苏同上 ;
王东方 ;
王庆贺 ;
闫梁臣 .
中国专利 :CN109161863A ,2019-01-08
[4]
一种靶材溅射装置及其溅射靶材的方法 [P]. 
魏钰 .
中国专利 :CN105112871A ,2015-12-02
[5]
一种靶材溅射装置 [P]. 
温质康 ;
乔小平 ;
苏智昱 .
中国专利 :CN215103503U ,2021-12-10
[6]
一种靶材溅射装置 [P]. 
魏钰 .
中国专利 :CN204939603U ,2016-01-06
[7]
一种磁控溅射铜靶材的制备方法以及靶材的应用 [P]. 
沈月 ;
陈天天 ;
闻明 ;
王传军 ;
许彦亭 ;
周利民 ;
李思勰 ;
巢云秀 ;
李治东 .
中国专利 :CN115533447A ,2022-12-30
[8]
一种磁控溅射铜靶材的制备方法以及靶材的应用 [P]. 
沈月 ;
陈天天 ;
闻明 ;
王传军 ;
许彦亭 ;
周利民 ;
李思勰 ;
巢云秀 ;
李治东 .
中国专利 :CN115533447B ,2024-11-22
[9]
一种靶材溅射方法及其设备 [P]. 
吴建清 ;
梅艳慧 ;
叶显飞 .
中国专利 :CN119243095B ,2025-03-28
[10]
一种靶材溅射方法及其设备 [P]. 
吴建清 ;
梅艳慧 ;
叶显飞 .
中国专利 :CN119243095A ,2025-01-03
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