一种检测靶材溅射性能的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510933941.9

申请日：

2025-07-08

公开(公告)号：

CN120683461A

公开(公告)日：

2025-09-23

发明(设计)人：

鲍明东

申请人：

宁波工程学院

申请人地址：

315211 浙江省宁波市江北区风华路201号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

宁波诚源专利事务所有限公司 33102

代理人：

胡志萍;徐恩斌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250708
2025-09-23	公开	公开

共 50 条

[21]

一种靶材溅射沟道的测量装置 [P].

梁国泰 ;

黄宇彬 ;

童培云 ;

朱刘 ;

何坤鹏 .

中国专利 :CN215572621U ,2022-01-18

[22]

溅射用靶材及其制造方法 [P].

小泽诚 ;

安东勋雄 .

中国专利 :CN106574359A ,2017-04-19

[23]

靶材溅射寿命的确定方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

钟伟华 .

中国专利 :CN103572222B ,2014-02-12

[24]

一种磁控溅射用镍靶材的制备方法 [P].

李思勰 ;

闻明 ;

普志辉 ;

杨海 ;

何云帅 ;

杨建明 ;

李治东 ;

许永刚 ;

黄通 .

中国专利 :CN117568765A ,2024-02-20

[25]

一种减少铜靶材预溅射时间的方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

慕二龙 ;

汪焱斌 .

中国专利 :CN113579862A ,2021-11-02

[26]

一种溅射镀膜用金靶材的生产方法 [P].

马丹萍 ;

黄威智 ;

方家芳 .

中国专利 :CN103726024B ,2014-04-16

[27]

一种靶材溅射用聚焦环 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

马松 ;

吴浩 .

中国专利 :CN220413506U ,2024-01-30

[28]

无磁屏蔽型铁磁性靶材溅射阴极及其溅射方法 [P].

杨会生 ;

王燕斌 ;

熊小涛 .

中国专利 :CN1245534C ,2003-02-19

[29]

一种靶材安装结构、磁控溅射设备及磁控溅射方法 [P].

卢静 .

中国专利 :CN112899627B ,2021-06-04

[30]

靶材检测方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

张金林 .

中国专利 :CN103913416A ,2014-07-09

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