一种溅射镀膜用金靶材的生产方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410001334.0

申请日：

2014-01-02

公开(公告)号：

CN103726024B

公开(公告)日：

2014-04-16

发明(设计)人：

马丹萍黄威智方家芳

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市吴淞江工业园区晨丰东路135号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22D700 B22D712

代理机构：

南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人：

董建林;汪庆朋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	公开	公开
2021-08-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/34 变更事项:专利权人变更前:昆山全亚冠环保科技有限公司变更后:光洋新材料科技（昆山）有限公司变更事项:地址变更前:215300 江苏省苏州市昆山市吴淞江工业园区晨丰东路135号变更后:215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇晨丰东路135号
2014-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582228845 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2014100013340 申请日:20140102
2016-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种溅射镀膜的靶材结构 [P].

闫都伦 ;

王克斌 ;

吴细标 ;

王旻杰 ;

唐贵民 .

中国专利 :CN203976900U ,2014-12-03

[2]

一种真空溅射镀膜靶材 [P].

孔伟华 .

中国专利 :CN216237255U ,2022-04-08

[3]

一种真空溅射镀膜靶材 [P].

陈春玲 ;

黄威智 ;

方家芳 .

中国专利 :CN103668090A ,2014-03-26

[4]

一种真空溅射镀膜靶材 [P].

陈春玲 ;

黄威智 ;

方家芳 .

中国专利 :CN203683650U ,2014-07-02

[5]

溅射镀膜用钼旋转靶材的制造方法 [P].

李慧 ;

孙良成 ;

鲁飞 ;

刘小鱼 ;

刘树峰 ;

邢正茂 ;

王峰 ;

白洋 ;

成宇 ;

陈蓓薪 .

中国专利 :CN107022739A ,2017-08-08

[6]

溅射镀膜靶材锁紧机构 [P].

魏国庆 .

中国专利 :CN213232473U ,2021-05-18

[7]

一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合方法 [P].

杨懿 ;

杨荣春 .

中国专利 :CN113231705A ,2021-08-10

[8]

一种钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法 [P].

张灵杰 .

中国专利 :CN113463042A ,2021-10-01

[9]

一种真空溅射镀膜靶 [P].

张彬 ;

张金宝 .

中国专利 :CN223509944U ,2025-11-04

[10]

一种低损伤溅射镀膜设备靶材结构 [P].

穆伟 ;

李阳阳 ;

吴迪 ;

李晓龙 ;

王健波 .

中国专利 :CN119736591A ,2025-04-01

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