一种检测靶材溅射性能的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510933941.9

申请日：

2025-07-08

公开(公告)号：

CN120683461A

公开(公告)日：

2025-09-23

发明(设计)人：

鲍明东

申请人：

宁波工程学院

申请人地址：

315211 浙江省宁波市江北区风华路201号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

宁波诚源专利事务所有限公司 33102

代理人：

胡志萍;徐恩斌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250708
2025-09-23	公开	公开

共 50 条

[41]

一种提高靶材溅射均匀性的旋转平面磁控溅射靶 [P].

缪同群 ;

张贵彦 ;

王志洲 ;

刘宝星 .

中国专利 :CN202830160U ,2013-03-27

[42]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

刘海华 ;

尹英发 ;

范伟华 ;

黄裕坤 .

中国专利 :CN221094260U ,2024-06-07

[43]

一种钼靶材溅射面的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

刘明健 .

中国专利 :CN111975465A ,2020-11-24

[44]

用于靶材溅射工艺的压紧环 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

杨其垚 .

中国专利 :CN106702342A ,2017-05-24

[45]

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115415672B ,2025-03-25

[46]

一种钨硅靶材及其溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李岢 .

中国专利 :CN112809455A ,2021-05-18

[47]

一种ITO靶材溅射后残靶再利用的制备工艺 [P].

王志强 ;

曾墩风 ;

曾探 ;

盛明亮 .

中国专利 :CN113292345A ,2021-08-24

[48]

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115415672A ,2022-12-02

[49]

靶材溅射面加工的刀具以及加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

钱百峰 .

中国专利 :CN109261998B ,2019-01-25

[50]

溅射镀膜用钼旋转靶材的制造方法 [P].

李慧 ;

孙良成 ;

鲁飞 ;

刘小鱼 ;

刘树峰 ;

邢正茂 ;

王峰 ;

白洋 ;

成宇 ;

陈蓓薪 .

中国专利 :CN107022739A ,2017-08-08

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