一种利用放电等离子体烧结方法制备磁控溅射用PZT靶材的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510203709.X
申请日
2025-02-24
公开(公告)号
CN119797912A
公开(公告)日
2025-04-11
发明(设计)人
武海军 杨智博 周相宏 彭古扬 宋彤 张杨
申请人
西安交通大学
申请人地址
710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
IPC主分类号
C04B35/491
IPC分类号
C04B35/622 C04B35/64 C23C14/35
代理机构
西安智大知识产权代理事务所 61215
代理人
季海菊
法律状态
公开
国省代码
陕西省 西安市
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共 50 条
[1]
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