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基板の処理方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20240188438
申请日：
2024-10-25
公开(公告)号：
JP7656139B1
公开(公告)日：
2025-04-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/42
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
基板の処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7773670B1 ,2025-11-19
[2]
基板の処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7784507B1 ,2025-12-11
[3]
基板処理方法[ja] [P]. 
KWON BONG-SOO ;
KIM DO-HYUN ;
PARK YU-RI ;
KIM SE-CHAN .
日本专利 :JP2024035837A ,2024-03-14
[4]
基板処理方法及び基板処理装置[ja] [P]. 
FUJII HIROYUKI ;
OKADA SOICHIRO ;
IDO YASUYUKI ;
MURAMATSU MAKOTO ;
YOSHIDA KEISUKE ;
INOUE NANOKA .
日本专利 :JP2025023029A ,2025-02-14
[5]
基板処理装置及び基板処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017057727A1 ,2018-07-19
[6]
基板処理装置、及び基板処理方法[ja] [P]. 
NAGAI TAKASHI ;
MORITA HISASHI .
日本专利 :JP2025098499A ,2025-07-02
[7]
基板処理方法及び基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025136048A ,2025-09-19
[8]
基板処理方法及び基板処理装置[ja] [P]. 
YAMADA KAZUKI ;
YONEZAWA TAKAHIRO ;
SUZUKI JUNYA ;
WATANABE MASAHISA ;
MURAMATSU MAKOTO ;
ISHII KATSUTOSHI .
日本专利 :JP2025069993A ,2025-05-02
[9]
基板処理装置、及び基板処理方法[ja] [P]. 
MARUMOTO HIROSHI ;
SAKAGUCHI KEISUKE ;
YANO HIDETSUGU .
日本专利 :JP2024157086A ,2024-11-07
[10]
基板処理方法及び基板処理装置[ja] [P]. 
YAMADA KAZUKI ;
ISHII KATSUTOSHI ;
YONEZAWA TAKAHIRO ;
MURAMATSU MAKOTO .
日本专利 :JP2025034615A ,2025-03-13
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