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基片处理系统和基片异常检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380065158.4
申请日：
2023-09-26
公开(公告)号：
CN119866540A
公开(公告)日：
2025-04-22
发明(设计)人：
永井龙
石川慎也
佐藤健太
田中康基
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
G01N21/956
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;何中文
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-22 | 公开 | 公开 |
| 2025-05-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20230926 |