一种无接触式硅片搬运系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420854215.9

申请日：

2024-04-24

公开(公告)号：

CN222683625U

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

谢超伟潘吉殷智俊

申请人：

上海昶火微电子科技有限公司

申请人地址：

201306 上海市松江区佘山镇环山路2号5栋102室

IPC主分类号：

B65G47/91

IPC分类号：

代理机构：

北京子焱知识产权代理事务所(普通合伙) 11932

代理人：

刘伟丽

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种无接触式硅片电学型号检测系统 [P].

曹伟兵 ;

朱洪伟 .

中国专利 :CN203337546U ,2013-12-11

[2]

一种无接触式超声搬运装置 [P].

傅林坚 ;

陶晓明 ;

沈兴潮 .

中国专利 :CN208103369U ,2018-11-16

[3]

一种硅片花篮搬运抓手机构 [P].

杨张宇 .

中国专利 :CN214411152U ,2021-10-15

[4]

一种无接触式硅片厚度电阻率检测系统 [P].

朱洪伟 ;

曹伟兵 .

中国专利 :CN203083519U ,2013-07-24

[5]

一种无接触硅片传输轨道 [P].

殷智俊 ;

潘吉 ;

谢超伟 .

中国专利 :CN222273156U ,2024-12-31

[6]

一种无接触抽取硅片结构 [P].

储诚志 ;

邱姜 ;

梅艳慧 ;

江湖 .

中国专利 :CN223052129U ,2025-07-01

[7]

一种玻璃基板无接触式搬运机构 [P].

付丽丽 ;

杨传意 .

中国专利 :CN115123834A ,2022-09-30

[8]

一种硅片搬运装置 [P].

赵智亮 ;

高开中 ;

李德刚 .

中国专利 :CN221140205U ,2024-06-14

[9]

硅片搬运系统 [P].

许明现 ;

马胜涛 ;

段威 ;

李奎源 ;

吴天祥 .

中国专利 :CN216234833U ,2022-04-08

[10]

一种非接触式搬运装置 [P].

刘欣欣 ;

郭浩严 .

中国专利 :CN216957986U ,2022-07-12

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