硅片搬运系统

被引：0

申请号：

CN202122838174.3

申请日：

2021-11-18

公开(公告)号：

CN216234833U

公开(公告)日：

2022-04-08

发明(设计)人：

许明现马胜涛段威李奎源吴天祥

申请人：

申请人地址：

213200 江苏省常州市金坛区直溪镇工业集中区水南路1号

IPC主分类号：

B65G4791

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

吕露

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片搬运装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222995365U ,2025-06-17

[2]

硅片搬运装置 [P].

陈灿议 .

中国专利 :CN209119061U ,2019-07-16

[3]

搬运装置、以及搬运系统 [P].

角口谦治 .

中国专利 :CN111712451B ,2020-09-25

[4]

硅片搬运装置及硅片盒定位方法 [P].

陈灿议 .

中国专利 :CN111199905A ,2020-05-26

[5]

吸盘及硅片搬运装置 [P].

龚志清 ;

查俊 ;

刘刚 .

中国专利 :CN216213346U ,2022-04-05

[6]

硅片搬运装置、防漂片系统及方法 [P].

吕合彬 ;

翟传鑫 ;

黎晓丰 .

中国专利 :CN120878613A ,2025-10-31

[7]

一种无接触式硅片搬运系统 [P].

谢超伟 ;

潘吉 ;

殷智俊 .

中国专利 :CN222683625U ,2025-03-28

[8]

搬运系统、搬运方法以及搬运装置 [P].

小宫路修 ;

赤江裕光 ;

山口刚 ;

野口忠隆 .

中国专利 :CN113508456A ,2021-10-15

[9]

搬运系统、搬运方法以及搬运装置 [P].

小宫路修 ;

赤江裕光 ;

山口刚 ;

野口忠隆 .

日本专利 :CN113508456B ,2025-10-28

[10]

搬运系统 [P].

坂东贤二 .

中国专利 :CN103733326B ,2014-04-16

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