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硅片搬运装置、防漂片系统及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510990882.9
申请日：
2025-07-17
公开(公告)号：
CN120878613A
公开(公告)日：
2025-10-31
发明(设计)人：
吕合彬
翟传鑫
黎晓丰
申请人：
安徽华晟新材料有限公司
申请人地址：
242000 安徽省宣城市经济技术开发区飞彩街道清流路99号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/673
H01L21/67
H10F71/00
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
刘贺秋
法律状态：
公开
国省代码：
河南省
郑州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-31 | 公开 | 公开 |
| 2025-11-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250717 |