一种高精量测系统中的自动聚焦的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411747168.9

申请日：

2024-11-29

公开(公告)号：

CN119810206A

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

孙宝李小飞吴晨刚

申请人：

拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司

申请人地址：

314499 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号3幢

IPC主分类号：

G06T7/80

IPC分类号：

G06F17/10 G06T7/70 H01L21/66

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陶玉龙

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	公开	公开
2025-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/80申请日:20241129

共 50 条

[1]

用于椭偏量测系统的自动聚焦方法 [P].

韩景珊 ;

王瑜 ;

杨峰 .

中国专利 :CN115388766A ,2022-11-25

[2]

针对关键尺寸量测的聚焦方法 [P].

田东卫 ;

温任华 .

中国专利 :CN115546114A ,2022-12-30

[3]

针对关键尺寸量测的聚焦方法 [P].

田东卫 ;

温任华 .

中国专利 :CN115546114B ,2024-01-23

[4]

用于椭偏量测系统的自动聚焦装置 [P].

韩景珊 ;

王瑜 ;

杨峰 .

中国专利 :CN115388765A ,2022-11-25

[5]

一种基于热像仪的自动聚焦方法、系统和介质 [P].

张国强 ;

刘国兴 ;

牛慧卓 ;

宋彦秀 ;

李佳乐 .

中国专利 :CN117395507A ,2024-01-12

[6]

一种量测系统及玻璃基板的量测方法 [P].

邱敏 .

中国专利 :CN107792668B ,2018-03-13

[7]

一种半导体CDSEM量测设备量测失败后自动重新量测的系统 [P].

马巍 ;

郑潜丰 .

中国专利 :CN114878618A ,2022-08-09

[8]

一种多通道高速高阻量测系统及量测方法 [P].

赵德喜 ;

蒯正建 ;

汪超 ;

余舒成 .

中国专利 :CN117607546B ,2024-04-16

[9]

一种多通道高速高阻量测系统及量测方法 [P].

赵德喜 ;

蒯正建 ;

汪超 ;

余舒成 .

中国专利 :CN117607546A ,2024-02-27

[10]

一种镜头自动聚焦的方法 [P].

章睿 ;

杨瑞瑞 ;

汤加跃 .

中国专利 :CN105163036A ,2015-12-16

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