用于椭偏量测系统的自动聚焦方法

被引：0

申请号：

CN202210956119.0

申请日：

2022-08-10

公开(公告)号：

CN115388766A

公开(公告)日：

2022-11-25

发明(设计)人：

韩景珊王瑜杨峰

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

G01B1106 G01N2101 G02B728 G02B709

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑振

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/00 申请日:20220810
2022-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

用于椭偏量测系统的自动聚焦装置 [P].

韩景珊 ;

王瑜 ;

杨峰 .

中国专利 :CN115388765A ,2022-11-25

[2]

用于椭偏量测系统的拟合优化方法和相关装置 [P].

杨峰 ;

韩景珊 ;

庄源 .

中国专利 :CN115391726A ,2022-11-25

[3]

量测卡、量测系统及量测方法 [P].

张育维 ;

杨茆世芳 ;

马天彦 .

中国专利 :CN117804330A ,2024-04-02

[4]

圆偏眼镜的光偏极化量测系统 [P].

余章凯 .

中国专利 :CN202903456U ,2013-04-24

[5]

一种高精量测系统中的自动聚焦的方法 [P].

孙宝 ;

李小飞 ;

吴晨刚 .

中国专利 :CN119810206A ,2025-04-11

[6]

待测样品的量测系统及方法 [P].

白园园 ;

马砚忠 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN120490171A ,2025-08-15

[7]

生理量测的感测系统与方法 [P].

李彦贤 ;

林宏墩 ;

曾文仁 .

中国专利 :CN104545859B ,2015-04-29

[8]

量测系统和方法 [P].

尹昶植 ;

A·E·A·库伦 ;

J·N·M·霍格维尔德 ;

A·朱博尔 ;

R·C·齐默曼 ;

A·K·罗布 ;

金玉玮 ;

郑舒婷 ;

V·T·坦纳 ;

魏旭康 ;

L·K·L·古特克斯 .

:CN119404140A ,2025-02-07

[9]

量测系统与量测方法 [P].

张钰林 ;

童凯炀 ;

林茂青 .

中国专利 :CN107966625A ,2018-04-27

[10]

长距离无透镜检偏臂太赫兹椭偏测厚系统 [P].

杨超 ;

马庆 ;

郝丛静 ;

李蔚 ;

刘德峰 .

中国专利 :CN118980323A ,2024-11-19

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