圆偏眼镜的光偏极化量测系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220575950.3
申请日
2012-11-05
公开(公告)号
CN202903456U
公开(公告)日
2013-04-24
发明(设计)人
余章凯
申请人
申请人地址
中国台湾台北市重庆南路一段57号12楼之6
IPC主分类号
G01M1102
IPC分类号
代理机构
北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301
代理人
吴怀权
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
用于椭偏量测系统的自动聚焦方法 [P]. 
韩景珊 ;
王瑜 ;
杨峰 .
中国专利 :CN115388766A ,2022-11-25
[2]
用于椭偏量测系统的自动聚焦装置 [P]. 
韩景珊 ;
王瑜 ;
杨峰 .
中国专利 :CN115388765A ,2022-11-25
[3]
晶圆量测系统 [P]. 
许敢 ;
张和君 ;
霍阔 ;
吴清文 ;
王健强 ;
王群波 .
中国专利 :CN115458431A ,2022-12-09
[4]
用于椭偏量测系统的拟合优化方法和相关装置 [P]. 
杨峰 ;
韩景珊 ;
庄源 .
中国专利 :CN115391726A ,2022-11-25
[5]
晶圆薄膜量测装置及量测系统 [P]. 
李贤铭 ;
陈国庆 .
中国专利 :CN209087771U ,2019-07-09
[6]
光声膜厚量测系统及量测方法 [P]. 
陈鲁 ;
孙韬 ;
马砚忠 ;
白园园 .
中国专利 :CN119714093B ,2025-11-21
[7]
光声膜厚量测系统及量测方法 [P]. 
陈鲁 ;
孙韬 ;
马砚忠 ;
白园园 .
中国专利 :CN119714093A ,2025-03-28
[8]
晶圆传输装置及晶圆量测系统 [P]. 
蒋健君 ;
史晋峰 ;
梁晨锴 ;
张国栋 ;
米涛 .
中国专利 :CN222581124U ,2025-03-07
[9]
晶圆膜层中物质浓度的量测方法和量测系统 [P]. 
陈卫军 ;
欧阳增图 ;
刘凌海 .
中国专利 :CN118330009A ,2024-07-12
[10]
晶圆膜层中物质浓度的量测方法和量测系统 [P]. 
陈卫军 ;
欧阳增图 ;
刘凌海 .
中国专利 :CN118330009B ,2024-10-29