用于椭偏量测系统的拟合优化方法和相关装置

被引：0

申请号：

CN202210885421.1

申请日：

2022-07-26

公开(公告)号：

CN115391726A

公开(公告)日：

2022-11-25

发明(设计)人：

杨峰韩景珊庄源

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢

IPC主分类号：

G06F1714

IPC分类号：

G06F1715

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑振

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/14 申请日:20220726
2022-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

用于椭偏量测系统的自动聚焦方法 [P].

韩景珊 ;

王瑜 ;

杨峰 .

中国专利 :CN115388766A ,2022-11-25

[2]

用于椭偏量测系统的自动聚焦装置 [P].

韩景珊 ;

王瑜 ;

杨峰 .

中国专利 :CN115388765A ,2022-11-25

[3]

单旋转椭偏量测设备和双旋转椭偏量测设备的匹配方法及校准装置 [P].

张晓雷 ;

张厚道 ;

冯新月 ;

施耀明 .

中国专利 :CN117607064A ,2024-02-27

[4]

电路板的量测方法、量测系统和量测装置 [P].

罗国瑜 .

中国专利 :CN118250906A ,2024-06-25

[5]

一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法 [P].

胡浩丰 ;

刘铁根 ;

李校博 .

中国专利 :CN107490547B ,2017-12-19

[6]

圆偏眼镜的光偏极化量测系统 [P].

余章凯 .

中国专利 :CN202903456U ,2013-04-24

[7]

呼吸相关信号量测系统及其量测方法 [P].

祓川浩一 ;

简仁建 ;

徐采潔 ;

刘至伟 .

中国专利 :CN105686832A ,2016-06-22

[8]

量测系统和方法 [P].

尹昶植 ;

A·E·A·库伦 ;

J·N·M·霍格维尔德 ;

A·朱博尔 ;

R·C·齐默曼 ;

A·K·罗布 ;

金玉玮 ;

郑舒婷 ;

V·T·坦纳 ;

魏旭康 ;

L·K·L·古特克斯 .

:CN119404140A ,2025-02-07

[9]

用于各种量测标记类型的广谱量测系统和方法 [P].

林宇翔 .

:CN120826646A ,2025-10-21

[10]

量测方法及相关联的量测设备 [P].

A·E·A·库伦 ;

郑舒婷 ;

H·A·J·克莱默 ;

K·J·L·王 .

:CN118871863A ,2024-10-29

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