单旋转椭偏量测设备和双旋转椭偏量测设备的匹配方法及校准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311356571.4

申请日：

2023-10-18

公开(公告)号：

CN117607064A

公开(公告)日：

2024-02-27

发明(设计)人：

张晓雷张厚道冯新月施耀明

申请人：

上海精测半导体技术有限公司

申请人地址：

201700 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层

IPC主分类号：

G01N21/21

IPC分类号：

G01N21/27 G01N21/01

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

范三霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/21申请日:20231018
2024-02-27	公开	公开

共 50 条

[1]

用于椭偏量测系统的拟合优化方法和相关装置 [P].

杨峰 ;

韩景珊 ;

庄源 .

中国专利 :CN115391726A ,2022-11-25

[2]

单旋转补偿器型光谱椭偏仪参数校准方法和装置 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN111122460B ,2020-05-08

[3]

量测设备及量测方法 [P].

许宗民 ;

简哲圣 ;

廖建硕 .

中国专利 :CN103196366A ,2013-07-10

[4]

量测设备及量测方法 [P].

林冬盛 ;

蔡子琦 ;

李建军 .

中国专利 :CN101858728A ,2010-10-13

[5]

旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103163077A ,2013-06-19

[6]

双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置 [P].

薛小汝 ;

石雅婷 ;

李伟奇 ;

何勇 ;

郭春付 ;

张传维 .

中国专利 :CN116519605B ,2025-11-25

[7]

旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法 [P].

陈修国 ;

陈超 ;

盛胜 ;

周军宏 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112378860B ,2021-02-19

[8]

量测校准方法及监控量测设备稳定性方法 [P].

金秀龙 ;

翟冬梅 ;

张戎 ;

罗昺寰 ;

张云 ;

李仲禹 .

中国专利 :CN116313865B ,2025-09-19

[9]

量测方法、量测设备和器件制造方法 [P].

R·奎因塔尼拉 ;

S·达尼卢克 .

中国专利 :CN107430352A ,2017-12-01

[10]

量测方法、量测设备和器件制造方法 [P].

理查德·金塔尼利亚 ;

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN108431692A ,2018-08-21

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