用于各种量测标记类型的广谱量测系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480016934.6

申请日：

2024-02-09

公开(公告)号：

CN120826646A

公开(公告)日：

2025-10-21

发明(设计)人：

林宇翔

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

G03F9/00

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑振

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-21	公开	公开

共 50 条

[1]

量测卡、量测系统及量测方法 [P].

张育维 ;

杨茆世芳 ;

马天彦 .

中国专利 :CN117804330A ,2024-04-02

[2]

量测系统和方法 [P].

尹昶植 ;

A·E·A·库伦 ;

J·N·M·霍格维尔德 ;

A·朱博尔 ;

R·C·齐默曼 ;

A·K·罗布 ;

金玉玮 ;

郑舒婷 ;

V·T·坦纳 ;

魏旭康 ;

L·K·L·古特克斯 .

:CN119404140A ,2025-02-07

[3]

电路板的量测方法、量测系统和量测装置 [P].

罗国瑜 .

中国专利 :CN118250906A ,2024-06-25

[4]

量测系统与量测方法 [P].

张钰林 ;

童凯炀 ;

林茂青 .

中国专利 :CN107966625A ,2018-04-27

[5]

光学量测系统、光学量测装置及其量测方法 [P].

吴世傑 ;

林典瑩 ;

林辰泰 ;

庄世昌 .

中国专利 :CN109282750B ,2019-01-29

[6]

量测方法以及虚拟量测系统 [P].

张永政 ;

傅学士 ;

王英郎 ;

郑芳田 .

中国专利 :CN101067742A ,2007-11-07

[7]

导热膏厚度的量测方法、量测系统与量测模块 [P].

林哲熙 ;

罗登男 .

中国专利 :CN101063606A ,2007-10-31

[8]

光学量测方法 [P].

萧玮仁 ;

蔡钧亦 ;

张巍耀 .

中国专利 :CN112838018A ,2021-05-25

[9]

量测手套及量测系统 [P].

张家齐 ;

萧子健 .

中国专利 :CN105455788A ,2016-04-06

[10]

薄膜厚度的量测方法及其量测系统 [P].

张航 ;

庄源 .

中国专利 :CN119890065A ,2025-04-25

← 1 2 3 4 5 →