光学量测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911163770.7

申请日：

2019-11-25

公开(公告)号：

CN112838018A

公开(公告)日：

2021-05-25

发明(设计)人：

萧玮仁蔡钧亦张巍耀

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市苏州高新区珠江路855号（第七号厂房）

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

赵晓荣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	公开	公开
2021-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20191125

共 50 条

[1]

光学波前量测装置与方法 [P].

梁振升 .

中国专利 :CN106768394A ,2017-05-31

[2]

用于各种量测标记类型的广谱量测系统和方法 [P].

林宇翔 .

:CN120826646A ,2025-10-21

[3]

用于量测系统的光学布置 [P].

杨光宇 ;

罗克珊娜·雷兹瓦尼纳拉吉 ;

尹昶植 .

:CN119156568A ,2024-12-17

[4]

量测方法和设备、光刻系统和器件制造方法 [P].

H·斯米尔德 ;

A·布里克尔 ;

W·考恩 ;

M·库比斯 ;

P·沃纳尔 .

中国专利 :CN103201682B ,2013-07-10

[5]

光学感测模块 [P].

A·J·齐尔基 ;

H·阿贝迪亚斯 ;

C·达尔维 ;

J·德里斯科尔 ;

A·贡达连科 ;

R·格罗特 ;

H·F·琼斯 ;

S·梅里特 ;

R·帕尔萨 ;

P·佩雷亚 ;

A·G·里克曼 ;

A·斯科菲尔德 ;

余国民 .

中国专利 :CN115605803A ,2023-01-13

[6]

光学共振腔的腔长量测装置 [P].

陈生瑞 .

中国专利 :CN106767473B ,2017-05-31

[7]

电压自动量测系统及量测方法 [P].

陈正记 .

中国专利 :CN101957397A ,2011-01-26

[8]

光学单元、照明光学设备、曝光设备和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN101765799B ,2010-06-30

[9]

照明光学系统、曝光设备、光学元件和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN102385258B ,2012-03-21

[10]

照明光学系统、曝光设备、光学元件和其制造方法和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN101743497A ,2010-06-16

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