一种静电驱动MEMS法布里-珀罗滤波器的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510082706.5

申请日：

2025-01-20

公开(公告)号：

CN119861520A

公开(公告)日：

2025-04-22

发明(设计)人：

张坤王鹏郭家祥张涛邓科彭嘉慧胡伟达

申请人：

中国科学院上海技术物理研究所

申请人地址：

200083 上海市虹口区中山北一路420号

IPC主分类号：

G02F1/21

IPC分类号：

G02B26/08 B81B7/02

代理机构：

广东南北知识产权代理事务所(普通合伙) 44918

代理人：

梁嘉朗

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/21申请日:20250120
2025-04-22	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法 [P].

李易 ;

焦文龙 ;

江超 ;

李美荣 ;

姜森林 ;

谢会开 .

中国专利 :CN119620379A ,2025-03-14

[2]

MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法 [P].

李易 ;

焦文龙 ;

江超 ;

李美荣 ;

姜森林 ;

谢会开 .

中国专利 :CN119620379B ,2025-10-24

[3]

可调谐法布里珀罗滤波器驱动电压优化方法 [P].

盛文娟 .

中国专利 :CN110275292B ,2019-09-24

[4]

光纤法布里-珀罗可调滤波器 [P].

黄振国 .

中国专利 :CN201984180U ,2011-09-21

[5]

一种可调谐法布里-珀罗滤波器 [P].

高培良 .

中国专利 :CN102955279A ,2013-03-06

[6]

一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器 [P].

梅加纯 ;

程筑江 ;

邹承明 ;

陆林俊 ;

董谊 .

中国专利 :CN203480076U ,2014-03-12

[7]

一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器 [P].

梅加纯 ;

董谊 ;

程筑江 ;

邹承明 ;

陆林俊 .

中国专利 :CN103257404B ,2013-08-21

[8]

一种可调谐光纤法布里-珀罗滤波器 [P].

江毅 ;

唐才杰 .

中国专利 :CN100470282C ,2008-05-21

[9]

一种具有双增透结构的MEMS法布里-珀罗滤波器 [P].

王鹏 ;

张坤 ;

郭家祥 ;

张涛 ;

邓科 ;

彭嘉慧 ;

胡伟达 .

中国专利 :CN119758643A ,2025-04-04

[10]

一种具有双增透结构的MEMS法布里-珀罗滤波器 [P].

王鹏 ;

张坤 ;

郭家祥 ;

张涛 ;

邓科 ;

彭嘉慧 ;

胡伟达 .

中国专利 :CN119758643B ,2025-09-12

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