MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411771060.3

申请日：

2024-12-04

公开(公告)号：

CN119620379B

公开(公告)日：

2025-10-24

发明(设计)人：

李易焦文龙江超李美荣姜森林谢会开

申请人：

北京理工大学重庆微电子研究院

申请人地址：

400031 重庆市沙坪坝区西永微电园研发楼3期1号楼2单元

IPC主分类号：

G02B26/00

IPC分类号：

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人：

刘兵

法律状态：

公开

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-10-24	授权	授权
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 26/00申请日:20241204

共 50 条

[1]

MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法 [P].

李易 ;

焦文龙 ;

江超 ;

李美荣 ;

姜森林 ;

谢会开 .

中国专利 :CN119620379A ,2025-03-14

[2]

光纤法布里-珀罗可调滤波器 [P].

黄振国 .

中国专利 :CN201984180U ,2011-09-21

[3]

一种静电驱动MEMS法布里-珀罗滤波器的制备方法 [P].

张坤 ;

王鹏 ;

郭家祥 ;

张涛 ;

邓科 ;

彭嘉慧 ;

胡伟达 .

中国专利 :CN119861520A ,2025-04-22

[4]

可调谐法布里－珀罗腔滤波器及制备方法 [P].

姜德生 ;

代珩 ;

何伟 ;

张翠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN1547048A ,2004-11-17

[5]

电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器 [P].

蔡志坚 ;

陆逸凡 ;

吴建宏 .

中国专利 :CN106707499A ,2017-05-24

[6]

电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器 [P].

蔡志坚 ;

陆逸凡 ;

吴建宏 .

中国专利 :CN206248914U ,2017-06-13

[7]

可调谐法布里珀罗滤波器驱动电压优化方法 [P].

盛文娟 .

中国专利 :CN110275292B ,2019-09-24

[8]

一种可调谐法布里-珀罗滤波器 [P].

高培良 .

中国专利 :CN102955279A ,2013-03-06

[9]

一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器 [P].

梅加纯 ;

程筑江 ;

邹承明 ;

陆林俊 ;

董谊 .

中国专利 :CN203480076U ,2014-03-12

[10]

光纤波导型法布里－珀罗光滤波器 [P].

于晋龙 ;

王耀天 ;

张爱旭 .

中国专利 :CN1828351A ,2006-09-06

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