芯片缺陷检测方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311436360.1
申请日
2023-10-31
公开(公告)号
CN119919338A
公开(公告)日
2025-05-02
发明(设计)人
王敬贤 刘涛 舒婷 潘成安 周许超 张记晨 张凯
申请人
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号
G06T7/00
IPC分类号
G06T7/90 G06V10/762 G06V10/764 G06V10/774 G06N3/0464 G06N20/00
代理机构
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人
朱笑宇
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
上海市
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共 50 条
[1]
芯片缺陷检测方法及系统 [P]. 
柏钧蓝 .
中国专利 :CN110672620B ,2020-01-10
[2]
芯片安全检测方法及装置 [P]. 
王祥 ;
李延 ;
王晶 ;
胡晓波 ;
涂因子 ;
于艳艳 ;
刘辉志 ;
刘梦 ;
沈利香 .
中国专利 :CN118966111A ,2024-11-15
[3]
缺陷检测方法、缺陷检测系统和缺陷检测程序 [P]. 
辻本翔悟 .
日本专利 :CN118202383A ,2024-06-14
[4]
一种芯片缺陷检测装置及检测方法 [P]. 
张鹏黎 ;
陆海亮 ;
王帆 .
中国专利 :CN107966453B ,2018-04-27
[5]
芯片表面缺陷检测方法及设备 [P]. 
陈炳贵 .
中国专利 :CN117726627B ,2024-04-16
[6]
芯片表面缺陷检测方法及设备 [P]. 
陈炳贵 .
中国专利 :CN117726627A ,2024-03-19
[7]
一种芯片缺陷检测方法及装置 [P]. 
梅健强 ;
牛文昕 .
中国专利 :CN118447021B ,2024-09-10
[8]
一种芯片缺陷检测方法及装置 [P]. 
梅健强 ;
牛文昕 .
中国专利 :CN118447021A ,2024-08-06
[9]
芯片缺陷的检测方法 [P]. 
倪棋梁 ;
陈宏璘 ;
龙吟 .
中国专利 :CN103645197B ,2014-03-19
[10]
芯片缺陷的检测方法 [P]. 
何理 ;
许向辉 ;
郭贤权 ;
陈超 .
中国专利 :CN103915361A ,2014-07-09